Em 2018, o mercado global de gás eletrônico para circuitos integrados atingiu US$ 4,512 bilhões, um aumento de 16% em relação ao ano anterior.A alta taxa de crescimento da indústria de gases especiais eletrônicos para semicondutores e o enorme tamanho do mercado aceleraram o plano de substituição nacional de gases especiais eletrônicos!
O que é gás de elétrons?
Gás eletrônico refere-se ao material básico usado na produção de semicondutores, monitores de tela plana, diodos emissores de luz, células solares e outros produtos eletrônicos, e é amplamente utilizado em limpeza, corrosão, formação de filme, dopagem e outros processos.As principais áreas de aplicação do gás eletrônico incluem a indústria eletrônica, células solares, comunicações móveis, navegação automotiva e sistemas de áudio e vídeo automotivos, aeroespacial, indústria militar e muitos outros campos.
O gás eletrônico especial pode ser dividido em sete categorias de acordo com sua própria composição química: silício, arsênico, fósforo, boro, hidreto metálico, haleto e alcóxido metálico.De acordo com diferentes métodos de aplicação em circuitos integrados, pode ser dividido em gás de dopagem, gás de epitaxia, gás de implantação de íons, gás de diodo emissor de luz, gás de corrosão, gás de deposição de vapor químico e gás de equilíbrio.Existem mais de 110 gases especiais unitários usados na indústria de semicondutores, dos quais mais de 30 são comumente usados.
Geralmente, a indústria de produção de semicondutores divide os gases em dois tipos: gases comuns e gases especiais.Dentre eles, o gás comumente utilizado refere-se a um abastecimento centralizado e utiliza muito gás, como N2, H2, O2, Ar, He, etc. O gás especial refere-se a alguns gases químicos utilizados no processo de produção de semicondutores, como extensão, injeção de íons, mistura, lavagem e formação de máscara, que é o que agora chamamos de gás especial eletrônico, como SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
Em todo o processo de produção da indústria de semicondutores, desde o crescimento do chip até a embalagem final do dispositivo, quase todos os elos são inseparáveis do gás especial eletrônico e da variedade de gás usado e requisitos de alta qualidade, portanto, o gás eletrônico possui materiais semicondutores."Comida".
Nos últimos anos, os principais componentes eletrônicos da China, como semicondutores e painéis de exibição, aumentaram em nova capacidade de produção e há uma forte demanda por substituição de importação de materiais químicos eletrônicos.A posição dos gases eletrônicos na indústria de semicondutores tornou-se cada vez mais proeminente.A indústria doméstica de gás eletrônico dará início a um rápido crescimento.
O gás especial eletrônico tem requisitos muito altos de pureza, porque se a pureza não estiver de acordo com os requisitos, os grupos de impurezas, como vapor de água e oxigênio no gás especial eletrônico, formarão facilmente um filme de óxido na superfície do semicondutor, o que afeta o vida útil de dispositivos eletrônicos, e o gás especial eletrônico contém As partículas de impurezas podem causar curtos-circuitos de semicondutores e danos ao circuito.Pode-se dizer que a melhoria da pureza desempenha um papel vital no rendimento e no desempenho da produção de dispositivos eletrônicos.
Com o desenvolvimento contínuo da indústria de semicondutores, o processo de fabricação de chips continua a melhorar, e agora chegou a 5 nm, que está prestes a se aproximar do limite da Lei de Moore, que equivale a um vigésimo do diâmetro de um cabelo humano ( cerca de 0,1 mm).Portanto, isso também apresenta requisitos mais elevados sobre a pureza do gás eletrônico especial produzido por semicondutores.
Horário da postagem: 15 de dezembro de 2021
