Em 2018, o mercado global de gás eletrônico para circuitos integrados atingiu US$ 4,512 bilhões, um aumento de 16% em relação ao ano anterior. A alta taxa de crescimento da indústria de gás eletrônico especial para semicondutores e o enorme tamanho do mercado aceleraram o plano nacional de substituição de gás eletrônico especial!
O que é gás de elétrons?
Gás eletrônico refere-se ao material de origem básico utilizado na produção de semicondutores, telas planas, diodos emissores de luz, células solares e outros produtos eletrônicos, sendo amplamente utilizado em processos de limpeza, corrosão, formação de filmes, dopagem e outros. As principais áreas de aplicação do gás eletrônico incluem a indústria eletrônica, células solares, comunicações móveis, navegação automotiva e sistemas de áudio e vídeo automotivos, aeroespacial, indústria militar e muitos outros campos.
O gás especial para eletrônica pode ser dividido em sete categorias, de acordo com sua composição química: silício, arsênio, fósforo, boro, hidreto metálico, haleto e alcóxido metálico. De acordo com diferentes métodos de aplicação em circuitos integrados, pode ser dividido em gás de dopagem, gás de epitaxia, gás de implantação iônica, gás de diodo emissor de luz, gás de corrosão, gás de deposição química de vapor e gás de equilíbrio. Existem mais de 110 gases especiais unitários utilizados na indústria de semicondutores, dos quais mais de 30 são de uso comum.
Geralmente, a indústria de produção de semicondutores divide os gases em dois tipos: gases comuns e gases especiais. Entre eles, o gás comumente usado refere-se a um fornecimento centralizado e utiliza uma grande quantidade de gás, como N2, H2, O2, Ar, He, etc. Gás especial refere-se a alguns gases químicos usados no processo de produção de semicondutores, como extensão, injeção de íons, mistura, lavagem e formação de máscara, que é o que hoje chamamos de gás eletrônico especial, como SiH4 de alta pureza, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
Em todo o processo de produção da indústria de semicondutores, desde o desenvolvimento do chip até a embalagem final do dispositivo, quase todos os elos são inseparáveis do gás especial eletrônico, e a variedade de gases utilizados e os altos requisitos de qualidade fazem do gás eletrônico um material semicondutor. "Alimento".
Nos últimos anos, a capacidade de produção dos principais componentes eletrônicos da China, como semicondutores e painéis de exibição, aumentou, e há uma forte demanda por materiais químicos eletrônicos para substituição de importações. A posição dos gases eletrônicos na indústria de semicondutores tem se tornado cada vez mais proeminente. A indústria nacional de gases eletrônicos entrará em rápido crescimento.
O gás especial para eletrônicos possui requisitos de pureza muito elevados, pois, se a pureza não atender aos requisitos, as impurezas, como vapor d'água e oxigênio, presentes no gás especial para eletrônicos facilmente formarão uma película de óxido na superfície do semicondutor, o que afetará a vida útil dos dispositivos eletrônicos. As partículas de impurezas presentes no gás especial para eletrônicos podem causar curtos-circuitos e danos aos circuitos semicondutores. Pode-se afirmar que a melhoria da pureza desempenha um papel vital no rendimento e no desempenho da produção de dispositivos eletrônicos.
Com o desenvolvimento contínuo da indústria de semicondutores, o processo de fabricação de chips continua a melhorar, e agora atingiu 5 nm, o que está prestes a se aproximar do limite da Lei de Moore, equivalente a um vigésimo do diâmetro de um fio de cabelo humano (cerca de 0,1 mm). Portanto, isso também impõe requisitos mais elevados quanto à pureza do gás especial eletrônico produzido por semicondutores.
Data de publicação: 15 de dezembro de 2021
