Em 2018, o mercado global de gás eletrónico para circuitos integrados atingiu 4,512 mil milhões de dólares, um aumento anual de 16%. A alta taxa de crescimento da indústria de gases especiais eletrônicos para semicondutores e o enorme tamanho do mercado aceleraram o plano doméstico de substituição de gases especiais eletrônicos!
O que é gás de elétrons?
O gás eletrônico refere-se ao material básico usado na produção de semicondutores, telas planas, diodos emissores de luz, células solares e outros produtos eletrônicos, e é amplamente utilizado na limpeza, gravação, formação de filme, dopagem e outros processos. As principais áreas de aplicação do gás eletrônico incluem a indústria eletrônica, células solares, comunicações móveis, navegação automotiva e sistemas de áudio e vídeo automotivos, aeroespacial, indústria militar e muitos outros campos.
O gás eletrônico especial pode ser dividido em sete categorias de acordo com sua própria composição química: silício, arsênico, fósforo, boro, hidreto metálico, haleto e alcóxido metálico. De acordo com diferentes métodos de aplicação em circuitos integrados, ele pode ser dividido em gás de dopagem, gás epitaxia, gás de implantação iônica, gás de diodo emissor de luz, gás de gravação, gás de deposição de vapor químico e gás de equilíbrio. Existem mais de 110 unidades de gases especiais utilizadas na indústria de semicondutores, das quais mais de 30 são comumente utilizadas.
Geralmente, a indústria de produção de semicondutores divide os gases em dois tipos: gases comuns e gases especiais. Dentre eles, o gás comumente utilizado refere-se a um fornecimento centralizado e utiliza muitos gases, como N2, H2, O2, Ar, He, etc. Gás especial refere-se a alguns gases químicos utilizados no processo de produção de semicondutores, como como extensão, injeção de íons, mistura, lavagem e formação de máscara, que é o que agora chamamos de gás especial eletrônico, como SiH4 de alta pureza, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
Em todo o processo de produção da indústria de semicondutores, desde o crescimento do chip até a embalagem final do dispositivo, quase todos os elos são inseparáveis do gás eletrônico especial, e da variedade de gases utilizados e dos altos requisitos de qualidade, portanto, o gás eletrônico possui materiais semicondutores. "Comida".
Nos últimos anos, os principais componentes eletrónicos da China, como semicondutores e painéis de visualização, aumentaram a sua capacidade de produção e existe uma forte procura de substituição de importações de materiais químicos eletrónicos. A posição dos gases eletrônicos na indústria de semicondutores tornou-se cada vez mais proeminente. A indústria doméstica de gás eletrônico dará início a um rápido crescimento.
O gás especial eletrônico tem requisitos de pureza muito elevados, porque se a pureza não estiver de acordo com os requisitos, os grupos de impurezas, como vapor de água e oxigênio no gás especial eletrônico, formarão facilmente uma película de óxido na superfície do semicondutor, o que afeta o vida útil de dispositivos eletrônicos e o gás especial eletrônico contém As partículas de impurezas podem causar curtos-circuitos de semicondutores e danos ao circuito. Pode-se dizer que a melhoria da pureza desempenha um papel vital no rendimento e no desempenho da produção de dispositivos eletrônicos.
Com o desenvolvimento contínuo da indústria de semicondutores, o processo de fabricação de chips continua a melhorar e agora atingiu 5 nm, que está prestes a se aproximar do limite da Lei de Moore, que equivale a um vigésimo do diâmetro de um cabelo humano ( cerca de 0,1mm). Portanto, isso também impõe requisitos mais elevados quanto à pureza do gás eletrônico especial produzido por semicondutores.
Horário da postagem: 15 de dezembro de 2021
