Em 2018, o mercado global de gás eletrônico para circuitos integrados atingiu US $ 4,512 bilhões, um aumento ano a ano de 16%. A alta taxa de crescimento da indústria eletrônica de gás especial para semicondutores e o enorme tamanho do mercado aceleraram o plano de substituição doméstica de gás especial eletrônico!
O que é gás eletrônico?
O gás eletrônico refere-se ao material de origem básica usado na produção de semicondutores, displays de painel plano, diodos emissores de luz, células solares e outros produtos eletrônicos, e é amplamente utilizado na limpeza, gravura, formação de filmes, doping e outros processos. As principais áreas de aplicação do gás eletrônico incluem a indústria eletrônica, células solares, comunicações móveis, navegação por carros e sistemas de áudio e vídeo, aeroespacial, indústria militar e muitos outros campos.
O gás especial eletrônico pode ser dividido em sete categorias de acordo com sua própria composição química: silício, arsênico, fósforo, boro, hidreto de metal, halogeneto e alcóxido de metal. De acordo com diferentes métodos de aplicação em circuitos integrados, ele pode ser dividido em gás doping, epitaxia, gases de implantação de íons, gás diodo emissor de luz, gás gravado, gás de deposição de vapor químico e gás de equilíbrio. Existem mais de 110 gases especiais de unidade usados na indústria de semicondutores, dos quais mais de 30 são comumente usados.
Geralmente, a indústria de produção de semicondutores divide os gases em dois tipos: gases comuns e gases especiais. Among them, the commonly used gas refers to a centralized supply and uses a lot of gas, such as N2, H2, O2, Ar, He, etc. Special gas refers to some chemical gases used in the process of semiconductor production, such as extension, ion injection, blending, washing, and mask formation, which is what we now call electronic special gas, such as high-purity SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, etc.
Em todo o processo de produção da indústria de semicondutores, desde o crescimento dos chips até a embalagem final do dispositivo, quase todos os links são inseparáveis do gás especial eletrônico e da variedade de requisitos de gás usado e de alta qualidade, portanto, o gás eletrônico possui materiais semicondutores. "Comida".
Nos últimos anos, os principais componentes eletrônicos da China, como semicondutores e painéis de exibição, aumentaram na nova capacidade de produção, e há uma forte demanda por substituição de importação de materiais químicos eletrônicos. A posição dos gases eletrônicos na indústria de semicondutores tornou -se cada vez mais proeminente. A indústria doméstica de gás eletrônico inaugurará o rápido crescimento.
O gás especial eletrônico tem requisitos muito altos para a pureza, porque se a pureza não estiver de acordo com os requisitos, os grupos de impureza como vapor de água e oxigênio no gás especial eletrônico formarão facilmente o filme de óxido na superfície do semicondutor, o que afeta a vida útil dos dispositivos eletrônicos, e o gás eletrônico especial contém as partículas de impulsão. Pode -se dizer que a melhoria da pureza desempenha um papel vital no rendimento e no desempenho da produção de dispositivos eletrônicos.
Com o desenvolvimento contínuo da indústria de semicondutores, o processo de fabricação de chips continua a melhorar e agora atingiu 5Nm, que está prestes a abordar o limite da lei de Moore, que equivale a um quarto do diâmetro de um cabelo humano (cerca de 0,1 mm). Portanto, isso também apresenta requisitos mais altos sobre a pureza do gás especial eletrônico produzido pelos semicondutores.
Hora de postagem: dez-15-2021
