Silanoé um composto de silício e hidrogênio, sendo um termo geral para uma série de compostos. O silano inclui principalmente monossilano (SiH4), dissilano (Si2H6) e alguns compostos de silício-hidrogênio de nível superior, com a fórmula geral SinH2n+2. No entanto, na produção real, geralmente nos referimos ao monossilano (fórmula química SiH4) como "silano".

Grau eletrônicogás silanoé obtido principalmente por várias reações de destilação e purificação de pó de silício, hidrogênio, tetracloreto de silício, catalisador, etc. O silano com pureza de 3N a 4N é chamado de silano de grau industrial, e o silano com pureza de mais de 6N é chamado de gás silano de grau eletrônico.

Como fonte de gás para transporte de componentes de silício,gás silanoTornou-se um gás especial importante, insubstituível por muitas outras fontes de silício devido à sua alta pureza e capacidade de controle preciso. O monosilano gera silício cristalino por meio da reação de pirólise, que atualmente é um dos métodos de produção em larga escala de silício monocristalino granular e silício policristalino no mundo.

Características do silano

Silano (SiH4)É um gás incolor que reage com o ar e causa asfixia. Seu sinônimo é hidreto de silício. A fórmula química do silano é SiH4 e seu teor pode chegar a 99,99%. À temperatura e pressão ambientes, o silano é um gás tóxico e de odor desagradável. Seu ponto de fusão é de -185°C e seu ponto de ebulição é de -112°C. À temperatura ambiente, o silano é estável, mas quando aquecido a 400°C, decompõe-se completamente em silício gasoso e hidrogênio. O silano é inflamável e explosivo, queimando explosivamente no ar ou em gás halogênio.

Campos de aplicação

O silano possui uma ampla gama de aplicações. Além de ser a forma mais eficaz de fixar moléculas de silício à superfície da célula durante a produção de células solares, também é amplamente utilizado em fábricas de semicondutores, telas planas e vidros revestidos.

Silanoé a fonte de silício para processos de deposição química de vapor, como silício monocristalino, wafers epitaxiais de silício policristalino, dióxido de silício, nitreto de silício e vidro de fosfossilicato na indústria de semicondutores, e é amplamente utilizado na produção e desenvolvimento de células solares, tambores de copiadora de silício, sensores fotoelétricos, fibras ópticas e vidros especiais.

Nos últimos anos, aplicações de alta tecnologia de silanos ainda estão surgindo, incluindo a fabricação de cerâmicas avançadas, materiais compostos, materiais funcionais, biomateriais, materiais de alta energia, etc., tornando-se a base de muitas novas tecnologias, novos materiais e novos dispositivos.