Eletrônicogases especiaissão um ramo importante de gases especiais. Eles penetram em quase todos os links da produção de semicondutores e são matérias-primas indispensáveis ​​para a produção de indústrias eletrônicas, como circuitos integrados em escala ultra-grande, dispositivos de exibição de painel plano e células solares.

Na tecnologia de semicondutores, são amplamente utilizados gases contendo fluorino. Atualmente, no mercado global de gás eletrônico, os gases eletrônicos contendo flúor representam cerca de 30% do total. Os gases eletrônicos contendo fluorino são um componente importante de gases eletrônicos especiais no campo de materiais de informação eletrônica. Eles são usados ​​principalmente como agentes de limpeza e agentes de gravação e também podem ser usados ​​como dopantes, materiais de formação de filmes etc. Neste artigo, o autor o levará a entender os gases comuns contendo fluorino.

A seguir, são usados ​​gases que contêm flúor comumente usados

Trifluoreto de nitrogênio (NF3): Um gás usado para limpeza e remoção de depósitos, geralmente usados ​​para limpeza de câmaras de reação e superfícies de equipamentos.

Hexafluoreto de enxofre (SF6): Um agente fluorinante usado nos processos de deposição de óxidos e como um gás isolante para preencher o meio isolante.

Fluoreto de hidrogênio (IC): Usado para remover óxidos da superfície do silício e como um gravador para gravar silício e outros materiais.

Fluoreto de nitrogênio (NF): usado para gravar materiais como nitreto de silício (SIN) e nitreto de alumínio (ALN).

Trifluorometano (CHF3) etetrafluorometano (CF4): Usado para gravar materiais de flúor, como fluoreto de silício e fluoreto de alumínio.

No entanto, os gases contendo fluorina têm certos perigos, incluindo toxicidade, corrosividade e inflamabilidade.

Toxicidade

Alguns gases contendo fluorina são tóxicos, como o fluoreto de hidrogênio (IC), cujo vapor é altamente irritante para a pele e o trato respiratório e prejudicial à saúde humana.

Corrosividade

O fluoreto de hidrogênio e alguns fluoretos são altamente corrosivos e podem causar sérios danos à pele, olhos e trato respiratório.

Inflamabilidade

Alguns fluoretos são inflamáveis ​​e reagem com oxigênio ou água no ar para liberar calor intenso e gases tóxicos, o que pode causar incêndio ou explosão.

Risco de alta pressão

Alguns gases fluorados são explosivos sob alta pressão e requerem cuidados especiais quando usados ​​e armazenados.

Impacto no meio ambiente

Os gases contendo fluorino têm altas vidas atmosféricas e valores de GWP, que têm um efeito destrutivo na camada atmosférica de ozônio e podem causar aquecimento global e poluição ambiental.

A aplicação de gases em campos emergentes, como a eletrônica, continua a se aprofundar, trazendo uma grande quantidade de nova demanda por gases industriais. Com base na grande quantidade de nova capacidade de produção dos principais componentes eletrônicos, como semicondutores e painéis de exibição na China continental nos próximos anos, bem como na forte demanda por substituição de importação de materiais químicos eletrônicos, a indústria de gás eletrônico doméstico levará uma alta taxa de crescimento.