Eletrônicogases especiaisOs gases especiais são um ramo importante da química dos gases. Eles estão presentes em quase todas as etapas da produção de semicondutores e são matérias-primas indispensáveis ​​para a fabricação de componentes eletrônicos, como circuitos integrados de ultra-largura de escala, telas planas e células solares.

Na tecnologia de semicondutores, os gases contendo flúor são amplamente utilizados. Atualmente, no mercado global de gases eletrônicos, os gases contendo flúor representam cerca de 30% do total. Esses gases são um componente importante de gases eletrônicos especiais na área de materiais de informação eletrônica. Eles são usados ​​principalmente como agentes de limpeza e corrosão, e também podem ser utilizados como dopantes, materiais formadores de filme, etc. Neste artigo, o autor irá apresentar os gases contendo flúor mais comuns.

Os seguintes gases que contêm flúor são comumente usados:

Trifluoreto de nitrogênio (NF3): Um gás utilizado para limpeza e remoção de depósitos, geralmente empregado na limpeza de câmaras de reação e superfícies de equipamentos.

Hexafluoreto de enxofre (SF6)Agente fluorante utilizado em processos de deposição de óxidos e como gás isolante para preenchimento de meios isolantes.

Fluoreto de hidrogênio (HF): Utilizado para remover óxidos da superfície do silício e como agente de corrosão para gravar silício e outros materiais.

Fluoreto de nitrogênio (NF): Utilizado para gravar materiais como nitreto de silício (SiN) e nitreto de alumínio (AlN).

Trifluorometano (CHF3) etetrafluorometano (CF4)Utilizado para gravar materiais de fluoreto, como fluoreto de silício e fluoreto de alumínio.

No entanto, os gases que contêm flúor apresentam certos perigos, incluindo toxicidade, corrosividade e inflamabilidade.

Toxicidade

Alguns gases que contêm flúor são tóxicos, como o fluoreto de hidrogênio (HF), cujo vapor é altamente irritante para a pele e o trato respiratório, sendo prejudicial à saúde humana.

Corrosividade

O fluoreto de hidrogênio e alguns fluoretos são altamente corrosivos e podem causar danos graves à pele, aos olhos e ao trato respiratório.

Inflamabilidade

Alguns fluoretos são inflamáveis ​​e reagem com o oxigênio ou a água do ar, liberando calor intenso e gases tóxicos, que podem causar incêndio ou explosão.

Perigo de alta pressão

Alguns gases fluorados são explosivos sob alta pressão e requerem cuidados especiais quando usados ​​e armazenados.

Impacto no meio ambiente

Os gases que contêm flúor têm uma longa vida útil na atmosfera e valores de Potencial de Aquecimento Global (GWP) elevados, o que lhes confere um efeito destrutivo na camada de ozono atmosférico, podendo causar aquecimento global e poluição ambiental.

A aplicação de gases em campos emergentes, como a eletrônica, continua a se aprofundar, gerando uma grande demanda por gases industriais. Com base na grande capacidade de produção de componentes eletrônicos importantes, como semicondutores e painéis de exibição, que a China continental deverá atingir nos próximos anos, bem como na forte demanda por substituição de importações de materiais químicos eletrônicos, a indústria nacional de gases para eletrônica deverá apresentar um alto índice de crescimento.