Eletrônicogases especiaissão um importante ramo de gases especiais. Eles penetram em quase todos os elos da produção de semicondutores e são matérias-primas indispensáveis ​​para a produção de indústrias eletrônicas, como circuitos integrados de ultragrande escala, dispositivos de exibição de tela plana e células solares.

Na tecnologia de semicondutores, gases contendo flúor são amplamente utilizados. Atualmente, no mercado global de gases eletrônicos, os gases eletrônicos contendo flúor representam cerca de 30% do total. Os gases eletrônicos contendo flúor são um componente importante dos gases eletrônicos especiais na área de materiais de informação eletrônica. Eles são usados ​​principalmente como agentes de limpeza e agentes de corrosão, e também podem ser usados ​​como dopantes, materiais formadores de filme, etc. Neste artigo, o autor irá levá-lo a compreender os gases comuns que contêm flúor.

A seguir estão os gases contendo flúor comumente usados

Trifluoreto de nitrogênio (NF3): Gás utilizado para limpeza e remoção de depósitos, geralmente utilizado para limpeza de câmaras de reação e superfícies de equipamentos.

Hexafluoreto de enxofre (SF6): Agente fluorante utilizado em processos de deposição de óxidos e como gás isolante para enchimento de meios isolantes.

Fluoreto de hidrogênio (HF): Usado para remover óxidos da superfície do silício e como agente de ataque para gravar silício e outros materiais.

Fluoreto de nitrogênio (NF): Usado para gravar materiais como nitreto de silício (SiN) e nitreto de alumínio (AlN).

Trifluorometano (CHF3) etetrafluorometano (CF4): Usado para gravar materiais com flúor, como fluoreto de silício e fluoreto de alumínio.

No entanto, os gases que contêm flúor apresentam certos perigos, incluindo toxicidade, corrosividade e inflamabilidade.

Toxicidade

Alguns gases que contêm flúor são tóxicos, como o fluoreto de hidrogênio (HF), cujo vapor é altamente irritante para a pele e o trato respiratório e prejudicial à saúde humana.

Corrosividade

O fluoreto de hidrogênio e alguns fluoretos são altamente corrosivos e podem causar sérios danos à pele, aos olhos e ao trato respiratório.

Inflamabilidade

Alguns fluoretos são inflamáveis ​​e reagem com o oxigênio ou a água do ar para liberar calor intenso e gases tóxicos, que podem causar incêndio ou explosão.

Perigo de alta pressão

Alguns gases fluorados são explosivos sob alta pressão e requerem cuidados especiais quando utilizados e armazenados.

Impacto no meio ambiente

Os gases que contêm flúor têm tempos de vida atmosféricos e valores de GWP elevados, que têm um efeito destrutivo na camada de ozono atmosférica e podem causar aquecimento global e poluição ambiental.

A aplicação de gases em campos emergentes, como a electrónica, continua a aprofundar-se, trazendo uma grande quantidade de nova procura de gases industriais. Com base na grande quantidade de nova capacidade de produção dos principais componentes eletrônicos, como semicondutores e painéis de exibição na China continental nos próximos anos, bem como na forte demanda por substituição de importações de materiais químicos eletrônicos, a indústria nacional de gás eletrônico inaugurará uma alta taxa de crescimento.