Os gases eletrônicos especiais comuns que contêm flúor incluemhexafluoreto de enxofre (SF6), hexafluoreto de tungstênio (WF6),tetrafluoreto de carbono (CF4), trifluorometano (CHF3), trifluoreto de nitrogênio (NF3), hexafluoroetano (C2F6) e octafluoropropano (C3F8).
Com o desenvolvimento da nanotecnologia e a expansão em larga escala da indústria eletrônica, a demanda por trifluoreto de nitrogênio aumentará a cada dia. Sendo um gás eletrônico especial indispensável e amplamente utilizado na produção e processamento de painéis e semicondutores, o trifluoreto de nitrogênio possui um amplo mercado.
Como um tipo de gás especial que contém flúor,trifluoreto de nitrogênio (NF3)O trifluoreto de nitrogênio é um gás especial para eletrônica com a maior capacidade de mercado. É quimicamente inerte à temperatura ambiente, mais ativo que o oxigênio em altas temperaturas, mais estável que o flúor e fácil de manusear. É utilizado principalmente como gás de gravação a plasma e agente de limpeza de câmaras de reação, sendo adequado para a fabricação de chips semicondutores, telas planas, fibras ópticas, células fotovoltaicas, etc.
Em comparação com outros gases eletrônicos que contêm flúor,trifluoreto de nitrogênioPossui as vantagens de reação rápida e alta eficiência. Especialmente na corrosão de materiais que contêm silício, como o nitreto de silício, apresenta alta taxa de corrosão e seletividade, não deixando resíduos na superfície do objeto corroído. É também um excelente agente de limpeza, não poluindo a superfície e atendendo às necessidades do processo de fabricação.
Data da publicação: 14 de setembro de 2024
