O gás especial eletrônico mais utilizado – trifluoreto de nitrogênio

Os gases eletrônicos especiais comuns contendo flúor incluemhexafluoreto de enxofre (SF6), hexafluoreto de tungstênio (WF6),tetrafluoreto de carbono (CF4), trifluorometano (CHF3), trifluoreto de nitrogênio (NF3), hexafluoroetano (C2F6) e octafluoropropano (C3F8).

Com o desenvolvimento da nanotecnologia e o desenvolvimento em larga escala da indústria eletrônica, sua demanda aumentará a cada dia. O trifluoreto de nitrogênio, como um gás eletrônico especial indispensável e amplamente utilizado na produção e processamento de painéis e semicondutores, possui um amplo espaço de mercado.

Como um tipo de gás especial contendo flúor,trifluoreto de nitrogênio (NF3)É o gás especial para eletrônicos com maior capacidade de mercado. É quimicamente inerte à temperatura ambiente, mais ativo que o oxigênio em altas temperaturas, mais estável que o flúor e fácil de manusear. O trifluoreto de nitrogênio é usado principalmente como gás de corrosão por plasma e como agente de limpeza de câmaras de reação, sendo adequado para as áreas de fabricação de chips semicondutores, telas planas, fibras ópticas, células fotovoltaicas, etc.

Comparado com outros gases eletrônicos contendo flúor,trifluoreto de nitrogênioApresenta as vantagens de reação rápida e alta eficiência. Especialmente na corrosão de materiais que contêm silício, como nitreto de silício, apresenta alta taxa de corrosão e seletividade, não deixando resíduos na superfície do objeto gravado. É também um excelente agente de limpeza e não polui a superfície, atendendo às necessidades do processo de processamento.