Cloreto de hidrogênioÉ um gás incolor com odor pungente. Sua solução aquosa é chamada de ácido clorídrico, também conhecido como ácido clorídrico. O cloreto de hidrogênio é muito solúvel em água. A 0 °C, 1 volume de água pode dissolver cerca de 500 volumes de cloreto de hidrogênio.

Possui as seguintes propriedades e características:

1. Alta pureza

A pureza do grau eletrônicocloreto de hidrogênioé muito alto, geralmente em ppm ou nível inferior, para garantir que nenhuma impureza seja introduzida no processo de fabricação de semicondutores.

2. Inércia

É um gás quimicamente inerte que não reage com muitas outras substâncias, o que é muito importante para evitar a contaminação de materiais e equipamentos semicondutores.

3. Alta estabilidade

Grau eletrônicocloreto de hidrogêniogeralmente tem química estável para garantir processamento confiável de semicondutores.

No processamento de semicondutores, as principais aplicações do cloreto de hidrogênio de grau eletrônico incluem:

1. Limpeza e preparação da superfície

Como um limpador de superfície eficiente, de grau eletrônicocloreto de hidrogênioé usado para remover óxidos e impurezas da superfície do substrato para garantir a qualidade e a pureza da camada ou filme epitaxial.

2. Auxiliar de crescimento epitaxial

Usado como agente de tratamento de superfície no processo epitaxial, ajuda a melhorar a qualidade da camada epitaxial, melhorar a correspondência da estrutura e reduzir a formação de defeitos da estrutura.

3. Pré-tratamento do substrato

Antes da preparação de dispositivos semicondutores, grau eletrônicocloreto de hidrogêniopode ser usado para tratar a superfície do substrato para formar uma base estável para melhorar a adesão entre a camada epitaxial e o substrato.

4. Agente auxiliar de deposição

No processo de deposição química de vapor (CVD) ou deposição física de vapor (PVD), o cloreto de hidrogênio de grau eletrônico pode ser usado como um meio de transferência de fase gasosa para participar da reação de deposição de materiais semicondutores.

5. Agente de transferência de fase gasosa

Como um agente de transferência de fase gasosa, outros precursores gasosos são introduzidos na câmara de reação para ajudar a ajustar a taxa de deposição e a uniformidade do material.

Essas características tornam o grau eletrônicocloreto de hidrogênioum importante agente de processamento na tecnologia de semicondutores, que tem um impacto fundamental no desempenho e na confiabilidade do dispositivo final.

Além de seu uso no processamento de semicondutores, o cloreto de hidrogênio de grau eletrônico pode encontrar uma variedade de usos em outras áreas, incluindo: preparação de materiais de alta pureza, células de combustível, crescimento de materiais semicondutores, litografia em fase de vapor, análise de materiais e pesquisa química.

Em geral, grau eletrônicocloreto de hidrogênioé um gás versátil e de alta pureza que tem uma ampla gama de aplicações fora da fabricação de semicondutores.