Tricloreto de boro (BCl3)É um composto inorgânico comumente usado em processos de corrosão seca e deposição química de vapor (CVD) na fabricação de semicondutores. É um gás incolor com um odor forte e pungente à temperatura ambiente e é sensível à umidade do ar, pois sofre hidrólise produzindo ácido clorídrico e ácido bórico.

Aplicações do tricloreto de boro

Na indústria de semicondutores,Tricloreto de boroO tricloreto de boro é usado principalmente para a gravação a seco de alumínio e como dopante para formar regiões do tipo P em wafers de silício. Também pode ser usado para gravar materiais como GaAs, Si, AlN e como fonte de boro em certas aplicações específicas. Além disso, o tricloreto de boro é amplamente utilizado no processamento de metais, na indústria vidreira, em análises químicas e em pesquisas laboratoriais.

Segurança do tricloreto de boro

Tricloreto de boroÉ corrosivo e tóxico, podendo causar danos graves aos olhos e à pele. Hidrolisa-se em ar úmido, liberando gás cloreto de hidrogênio tóxico. Portanto, medidas de segurança adequadas devem ser tomadas ao manuseá-lo.Tricloreto de boro, incluindo o uso de roupas de proteção, óculos de proteção e equipamentos de proteção respiratória, além de operar em um ambiente bem ventilado.