Tricloreto de boro (bcl3)é um composto inorgânico comumente usado nos processos de gravação a seco e deposição de vapor químico (CVD) na fabricação de semicondutores. É um gás incolor com um forte odor pungente à temperatura ambiente e é sensível ao ar úmido porque hidrolisa para produzir ácido clorídrico e ácido bórico.

Aplicações de tricloreto de boro

Na indústria de semicondutores,Tricloreto de boroé usado principalmente para gravação a seco de alumínio e como dopante para formar regiões do tipo P nas bolachas de silício. Também pode ser usado para gravar materiais como GAAs, SI, ALN e como fonte de boro em determinadas aplicações específicas. Além disso, o tricloreto de boro é amplamente utilizado no processamento de metais, indústria de vidro, análise química e pesquisa de laboratório.

Segurança do tricloreto de boro

Tricloreto de boroé corrosivo e tóxico e pode causar sérios danos aos olhos e à pele. Ele hidrolisa o ar úmido para liberar gás tóxico de cloreto de hidrogênio. Portanto, as medidas de segurança apropriadas precisam ser tomadas ao manusearTricloreto de boro, incluindo vestir roupas de proteção, óculos de proteção e equipamentos de proteção respiratória e operar em um ambiente bem ventilado.