Tricloreto de boro (BCl3)é um composto inorgânico comumente utilizado em processos de corrosão a seco e deposição química de vapor (CVD) na fabricação de semicondutores. É um gás incolor com forte odor pungente à temperatura ambiente e sensível à umidade do ar, pois se hidrolisa para produzir ácido clorídrico e ácido bórico.

Aplicações do Tricloreto de Boro

Na indústria de semicondutores,Tricloreto de boroÉ usado principalmente para corrosão a seco de alumínio e como dopante para formar regiões do tipo P em wafers de silício. Também pode ser usado para corrosão de materiais como GaAs, Si, AlN e como fonte de boro em certas aplicações específicas. Além disso, o tricloreto de boro é amplamente utilizado no processamento de metais, na indústria vidreira, em análises químicas e em pesquisas laboratoriais.

Segurança do tricloreto de boro

Tricloreto de boroÉ corrosivo e tóxico, podendo causar sérios danos aos olhos e à pele. Hidrolisa-se em ar úmido, liberando gás tóxico de cloreto de hidrogênio. Portanto, medidas de segurança adequadas devem ser tomadas durante o manuseio.Tricloreto de boro, incluindo o uso de roupas de proteção, óculos de proteção e equipamentos de proteção respiratória, além de operar em um ambiente bem ventilado.