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Especificação | 99,999% |
Oxigênio + Argônio | ≤1ppm |
Azoto | ≤4 ppm |
Umidade (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halocarbinas | ≤1 ppm |
Impurezas Totais | ≤10 ppm |
O tetrafluoreto de carbono é um hidrocarboneto halogenado com a fórmula química CF4. Pode ser considerado um hidrocarboneto halogenado, metano halogenado, perfluorocarbono ou um composto inorgânico. O tetrafluoreto de carbono é um gás incolor e inodoro, insolúvel em água, solúvel em benzeno e clorofórmio. Estável sob temperatura e pressão normais, evite oxidantes fortes, materiais inflamáveis ou combustíveis. Gás não combustível, a pressão interna do recipiente aumentará quando exposto a altas temperaturas e há perigo de rachaduras e explosão. É quimicamente estável e não inflamável. Somente o reagente metálico líquido de amônia-sódio pode funcionar à temperatura ambiente. O tetrafluoreto de carbono é um gás que causa o efeito estufa. É muito estável, pode permanecer na atmosfera por muito tempo e é um poderoso gás de efeito estufa. O tetrafluoreto de carbono é usado no processo de gravação a plasma de vários circuitos integrados. Também é usado como gás laser e em refrigerantes de baixa temperatura, solventes, lubrificantes, materiais isolantes e refrigerantes para detectores infravermelhos. É o gás de gravação a plasma mais utilizado na indústria microeletrônica. É uma mistura de gás tetrafluorometano de alta pureza e gás tetrafluorometano de alta pureza e oxigênio de alta pureza. Pode ser amplamente utilizado em silício, dióxido de silício, nitreto de silício e vidro fosfosilicato. A gravação de materiais de película fina, como tungstênio e tungstênio, também é amplamente utilizada na limpeza de superfícies de dispositivos eletrônicos, produção de células solares, tecnologia laser, refrigeração de baixa temperatura, inspeção de vazamentos e detergente na produção de circuitos impressos. Usado como refrigerante de baixa temperatura e tecnologia de gravação a seco de plasma para circuitos integrados. Precauções de armazenamento: Armazene em um armazém de gás não combustível fresco e ventilado. Manter afastado do fogo e de fontes de calor. A temperatura de armazenamento não deve exceder 30°C. Deve ser armazenado separadamente de combustíveis e oxidantes facilmente (combustíveis) e evitar armazenamento misto. A área de armazenamento deve estar equipada com equipamento de tratamento de emergência para vazamentos.
① Refrigerante:
O tetrafluorometano às vezes é usado como refrigerante de baixa temperatura.
② Gravura:
É usado na microfabricação de eletrônicos sozinho ou em combinação com oxigênio como decapante de plasma para silício, dióxido de silício e nitreto de silício.
Produto | Tetrafluoreto de Carbono CF4 | ||
Tamanho do pacote | Cilindro 40Ltr | Cilindro 50Ltr | |
Enchimento Peso Líquido/Cil | 30kg | 38kg | |
QTY carregado em contêiner de 20' | 250 Cilindros | 250 Cilindros | |
Peso Líquido Total | 7,5 toneladas | 9,5 toneladas | |
Tara do Cilindro | 50kg | 55kg | |
Válvula | CGA 580 |
①Alta pureza, instalações mais recentes;
②Fabricante de certificado ISO;
③Entrega rápida;
④Sistema de análise on-line para controle de qualidade em todas as etapas;
⑤Alta exigência e processo meticuloso para manuseio do cilindro antes do enchimento;